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주요 사업소개

독보적인 기술과 풍부한 경험, 최고의 글로벌 기술 경쟁력을 통해 ,
친환경 테크놀로지 기술을 JTS KOREA가 선도합니다.

사업분야

SCRUBBER의 개념

반도체 공정 진행 중 발생하는 각종 독성가스 및 산성가스, 가연성가스, 환경유해가스를 처리하는 정화 장치를 GAS SCRUBBER라 한다.

CHILLER의 개념

반도체 제조를 위한 공정 중 웨이퍼 상에 식각 및 증착 공정을 수행하는 건식(etcher)(deposition) 식각 장치와 그 외에 공정 장비인 진공(dry etcher) 증착 등의 공정에서 과도한 열이 발생한다.
따라서 CHAMBER 내부 및 WAFER 주변 온도를 일정하게 유지할 수 있도록 온도의 정밀제어가 요구되는데, 이 온도를 일정하게 유지함으로써 공정 효율을 개선하는 장치를 Chiller라 한다.